Đặc điểm thiết kế của thiết bị so sánh đĩa đa năng của máy chân không

1) Công thức của hình dạng hình trụ, đường kính lớn và cấu trúc vách mỏng của xi lanh cố định 3 và phương pháp xác định đối xứng dọc trục có thể đảm bảo rằng nó có đủ cường độ và độ cứng uốn, đồng thời, nó cũng có thể ngăn chặn sự thay đổi của cấu trúc độ mòn.
2) sơ đồ thiết kế của vòng bi ngồi hình khuyên 2 đảm bảo hiệu suất niêm phong và góc thẳng đứng của lắp đặt ổ trục ngồi; Mở rộng đặc điểm kỹ thuật đường kính của trục 1, tăng khoảng thời gian lắp đặt giữa hai vòng bi lăn trong vòng bi ngồi 2, và cải thiện sức mạnh và độ cứng uốn của chính nó, để đảm bảo độ cứng uốn của trục 1 sau toàn bộ quá trình quay, tính linh hoạt của hoạt động xoay của đĩa quay 15, và sự nhất quán của các bộ phận lặp lại.
3) Mang mô có thể hoán đổi cho nhau, theo đường kính của tấm hỗ trợ mở rộng 16, tổng diện tích hợp lý của mô trong góc nhìn mặt phẳng được mở rộng, và một mảnh so sánh với đường kính lớn (φ26,5mm) có thể được cài đặt, có lợi cho sự điều chỉnh vòng lặp và cải tiến Tờ tương đối 12 được làm bằng kính nhiều lớp tấm như một mô-đun bảng so sánh và tấm so sánh áp dụng phương pháp lắp đặt tích lũy ba chiều trong không gian trong nhà. Bộ phim được so sánh với bộ phim, giải quyết vấn đề màng quang có độ chính xác cao hai lớp được phủ bởi các thiết bị phủ, và số lượng phim tương đối nhỏ, ảnh hưởng đến số lượng lớp chồng chất và độ chính xác của lớp phủ trên bề mặt.
4) Hợp tác với tấm định vị 6 và khớp nối quang học loại khe 17, nhận ra ba khe kép trung bình 120 ° trên tấm định vị theo bộ ghép quang loại khe và điều khiển vòng quay của động cơ để dừng. Tính nhất quán của vị trí chính xác của vòng quay của trục 1 được đảm bảo nhiều lần và đĩa quay 15 được đẩy để thực hiện một tư thế kéo ra chính xác.
5) Cơ chế thức ăn niêm phong quay giới thiệu cơ chế niêm phong Wilson 5, không chỉ đảm bảo vòng quay nhạy cảm của động cơ 9 để điều khiển trục 1 theo chia lưới bánh răng, mà còn đảm bảo hiệu ứng niêm phong của buồng chân không ra thế giới bên ngoài. Máy phủ chân không được tối ưu hóa với đĩa đa năng là một thiết bị phim tương đối mỏng. Đặc điểm của nó là: (1) cấu trúc đơn giản, cường độ nén cao và độ ổn định tốt; Phim quang học; . (4) Chi phí bảo trì thấp.
Theo tối ưu hóa củaMáy phủ chân khôngThiết bị so sánh lưỡi đa vòng, nó đảm bảo sự phối hợp và tính nhất quán lặp đi lặp lại của vòng quay của cấu trúc lưỡi tương đối và giải quyết vấn đề rằng diện tích tương đối nhỏ, điều chỉnh vòng không phải là bất tiện và tần số tín hiệu quang ổn định. Nó giải quyết vấn đề về vĩ độ kém và giải quyết vấn đề ít hơn tổng số tấm, điều này có thể cải thiện hơn nữa chất lượng của màng quang được phủ bằng máy phủ chân không ban đầu và có thể phủ hơn 30 lớp màng quang. Kinh nghiệm thực tế đã chứng minh rằng cấu trúc bảng so sánh này có hiệu quả và có thể được bán trên thị trường và triển khai trong lĩnh vực máy phủ chân không quang điện tử ngày nay.