Nguyên tắc điều khiển áp suất của thiết bị phủ chân không

1. Giới thiệu nền
Thiết bị phủ chân không là một loại thiết bị được sử dụng rộng rãi trong sản xuất công nghiệp. Chức năng chính của nó là đặt vật liệu cần được phủ vào buồng phủ chân không, và thông qua phản ứng dưới nhiệt độ cao và môi trường chân không cao, lớp màng được lắng đọng đều trên bề mặt của vật liệu. và tạo thành một lớp lớp phủ nhất định với các chức năng và đặc điểm đặc biệt. Trong số đó, mức độ chân không và tốc độ bám dính trong thiết bị là các chỉ số quan trọng ảnh hưởng đến chất lượng của lớp lớp phủ và độ ổn định của mức độ chân không phụ thuộc vào kiểm soát áp suất trong thiết bị.
2. Nguyên tắc kiểm soát áp suất của thiết bị phủ chân không
1. Định nghĩa độ chân không
Trước khi giới thiệu nguyên tắc kiểm soát áp lực, cần phải giới thiệu chân không là gì. Trong vật lý, chân không đề cập đến môi trường khí có áp suất nhỏ hơn áp suất khí quyển, do đó, mức độ chân không đề cập đến áp suất khí trong một không gian nhất định. Nói chung, chân không thường được đo bằng pascal (PA) hoặc thanh mét (MBAR). Trong thiết bị phủ chân không, phạm vi chân không thông thường là 10^-6Pa ~ 10^-2Pa.
2. Nguyên tắc kiểm soát áp lực
Khi chân không quá cao hoặc quá thấp, nó sẽ ảnh hưởng đến hoạt động bình thường của thiết bị. Do đó, cần phải kiểm soát mức độ chân không trong thiết bị thông qua một phương pháp nhất định. Trong số đó, kiểm soát áp lực là một phương pháp kiểm soát tương đối đơn giản và hiệu quả. Cụ thể, nguyên tắc điều khiển áp suất là sử dụng bộ điều khiển áp suất để kiểm soát tốc độ dòng khí trong thiết bị bằng cách phát hiện áp suất của đầu được kiểm soát, và sau đó thông qua cơ chế phản hồi, bằng cách kiểm soát việc mở van, để đạt được mục đích kiểm soát áp suất.
3. Thành phần cơ bản của bộ điều khiển áp suất
Trong thiết bị phủ chân không, bộ điều khiển áp suất thường được sử dụng để kiểm soát áp suất. Thành phần cơ bản của nó bao gồm bốn phần: cảm biến phát hiện, bộ điều khiển, bộ truyền động và hệ thống điều khiển.
Cảm biến phát hiện: Nó chủ yếu được sử dụng để phát hiện sự thay đổi áp suất của đầu được kiểm soát và chuyển đổi nó thành đầu ra tín hiệu điện tương ứng để sử dụng bởi bộ điều khiển.
Bộ điều khiển: Nó chủ yếu nhận được đầu ra tín hiệu điện bằng cảm biến, xử lý và phân tích nó, sau đó cung cấp kết quả phân tích trở lại bộ truyền động để kiểm soát mức độ mở của bộ truyền động.
Bộ truyền động: Nó chủ yếu kiểm soát tốc độ dòng khí trong thiết bị bằng cách kiểm soát mức độ mở của van, để đạt được mục đích kiểm soát áp suất.
Hệ thống điều khiển: Nó chủ yếu được sử dụng để giám sát và kiểm soát các chỉ số khác nhau trong thiết bị, chẳng hạn như nhiệt độ, mức độ chân không, v.v., và thực hiện một loạt các chiến lược kiểm soát.
3. Tóm tắt
Tóm lại, nguyên tắc kiểm soát áp suất trong thiết bị phủ chân không là kiểm soát áp lực trong thiết bị thông qua cơ chế phản hồi tương đối đơn giản và hiệu quả. Để thiết lập một hệ thống điều khiển ổn định như vậy đòi hỏi sự hỗ trợ kỹ thuật của các khía cạnh khác nhau của hệ thống điều khiển thiết bị, chẳng hạn như giám sát tham số, thuật toán kiểm soát, điều khiển bộ truyền động, liên kết hệ thống, v.v.